MicroChem光刻膠滿足客戶需求反應(yīng)作用

　　MicroChem光刻膠滿足客戶需求反應(yīng)作用
　　
　　MicroChem光刻膠廣泛應(yīng)用于在處理多種數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和無線芯片到MEMS的金屬剝離MicroChem光刻膠在超出單層防腐可以延長(zhǎng)限制剝離處理。這包括非常高的分辨率的金屬化（＜0.25µM），以及非常厚（＞4µm）金屬化。這些*的材料可幾乎滿足任何客戶需要。
　　
　　MicroChem光刻膠材料用途：金屬電梯加工，橋制造，釋放層。
　　
　　曝光過程中，MicroChem光刻膠中的感光劑發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，從而使正膠的感光區(qū)、負(fù)膠的非感光區(qū)能夠溶解于顯影液中。正性光刻膠中的感光劑DQ發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，變?yōu)橐蚁┩M(jìn)一步水解為茚并羧酸（Indene-Carboxylic-Acid,簡(jiǎn)稱ICA），羧酸對(duì)堿性溶劑的溶解度比未感光的感光劑高出約100倍，同時(shí)還會(huì)促進(jìn)酚醛樹脂的溶解。于是利用感光與未感光的光刻膠對(duì)堿性溶劑的不同溶解度，就可以進(jìn)行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。
　　
　　刻蝕或離子注入之后，已經(jīng)不再需要光刻膠作保護(hù)層，可以將其除去，稱為去膠，分為濕法去膠和干法去膠，其中濕法去膠又分有機(jī)溶劑去膠和無機(jī)溶劑去膠。有機(jī)溶劑去膠，主要是使光刻膠溶于有機(jī)溶劑而除去；無機(jī)溶劑去膠則是利用光刻膠本身也是有機(jī)物的特點(diǎn)，通過一些無機(jī)溶劑，將光刻膠中的碳元素氧化為二氧化碳而將其除去；干法去膠，則是用等離子體將光刻膠剝除。