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簡要描述:SU-8 2000化學放大,i線抗蝕劑非常適合制造 permanent性器件結構。 這些負色調,環氧基抗蝕劑表現出優異的耐化學性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結構的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。
產品分類
光刻膠
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詳細介紹
MicroChem環氧樹脂抗蝕劑由化學放大的環氧基負性抗蝕劑組成,它們具有高度功能性,光學透明性和可接近UV(365nm)輻射的可成像。固化膜或微結構是對溶劑非常抵扣的,酸和堿以及具有優異的熱穩定性和機械穩定性,使其非常適合制造permanent結構,如像素墻,流體通道和噴嘴,微陣列和間隔物。
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