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詳細介紹
電動XY夾頭,SPS-2600中的電動壓板,SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動,標準配置。Motorized theta是一種選擇。
基于伺服電機的直線光柵尺。
成本競爭力,非常快速,高效的解決方案
強烈推薦用于中等規模生產或其他吞吐量很重要的應用
型號 | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圓尺寸 | 高達300mm | 高達200mm | 高達100mm |
電機類型 | 伺服電機 | ||
顯微鏡 | 高品質立體聲變焦,工作距離可達200??mm,放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC,Triax或香蕉插頭 | ||
系統尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
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