詳細介紹
Futurrex產品優勢:
1、Futurrex光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
2、負性光刻膠常溫下可保存3年
3、150度烘烤,縮短了烘烤時間
4、單次旋涂能夠達到100um膜厚
5、顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
品牌 | 產地 | 型號 | 特性 | 應用 | 對生產力的影響 |
Futurrex | 美國 | RD3 | 堿性水溶液 | 光膠圖案顯影 Futurrex臨時粘層、 | 一種顯影液可同時應用于正膠和負膠在去除PC3系列平坦化層時作為去除劑 |
RD6 | |||||
Micro Resist | 德國 | ma~D332S | 避免接觸酸和氧化劑 | 用于半導體芯片或微納結構制作 | 用于光刻膠的顯影 |
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