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    晶圓清洗機

    簡要描述:WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設計。該系統有兩種配置:最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

    • 產品型號:WCS-200
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-17
    • 訪  問  量:1493

    詳細介紹

    特點:

    · 高壓或霧化噴霧清洗

    · 擁有觸摸屏界面

    · 可重復過程的快速啟動按鈕

    · 自動透明蓋

    · CDA 和 N2 輸入傳感器

     

    WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設計。該系統有兩種配置:最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

    晶圓清洗工藝通過觸摸屏進行設置 用戶可以通過4個步驟對多達50個程序段進行編程:

    ·

    ·

    · N2干燥

    · 旋轉

    每個步驟可設置不同的速度和時間參數。


    技術參數:

    晶圓最大尺寸

    8"/12"mm

    晶圓清洗參數:

    · 速度;

    · 加速度;

    · 清洗時間;

    · 沖洗時間;

    · N2干燥時間;


    轉速范圍

    500-3000 rpm

    電源電壓

    230VAC 50Hz 5A

    CDA供給壓力

    0.5-0.6 MPa

    CDA 最大消耗量

    3 m3/h

    CDA 連接管

    6 mm

    去離子水 供給壓力

    0.2-0.3 MPa

    去離子水最大消耗量

    100 L/h

    去離子水連接管

    6 mm

    真空供應

    0.02-0.04 MPa

    真空連接管

    6 mm

    排氣連接管

    50 mm

    尺寸

    900x780x1280 mm

    重量

    110 kg

     


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