德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER

簡要描述：德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER Advanced系列旋轉處理器是先進的系統，提供精確和可重復的工藝控制。一個空氣動力學效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無污染、易于清潔的工藝區域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉以及puddle交換擺動功能。

產品型號：450 Advanced
廠商性質：代理商
更新時間：2025-04-09
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勻膠機/勻膠旋涂儀

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POLOS 450 Advanced

德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER

德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER®Advanced系列旋轉處理器是先進的系統，提供精確和可重復的工藝控制。一個空氣動力學效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無污染、易于清潔的工藝區域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉以及puddle交換擺動功能。

德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER@ 450 Advanced是一款桌面型單基板旋轉器，配有NPP外殼、旋轉杯和手動化學分配器。適用于直徑最大為500毫米的圓形基板和350x350毫米的方形基板。

專為半導體、光伏、MEMS及納米材料領域設計，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴苛工藝要求。

一．特點：

自動順序或并行化學分配；
最多6個噴嘴，每個均可獨立編程；

二．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝

三．配置

外殼材料	天然聚丙烯(NPP)
腔室材料	天然聚丙烯(NPP)或高化學耐性的聚四氟乙烯(TFM™)
旋轉速度 RPM	0-1500rpm
旋轉速度準確性	± 0.1 rpm
旋轉方向	正轉、反轉、Puddle交換擺動
最大加速度	≤1500 rpm/s取決于負載**
自由編程輸出端口	3個干式繼電器，額定開關容量0.5A/125V交流電 / 0.3A/60V直流電
最大樣片尺寸	直徑460mm圓片和350x350mm方片
腔室直徑	502mm
外形尺寸	795 (w)x638 (h)x922 (d)mm
氣體	20 - 50 kPa. Tube OD ? 6mm 500 L/hr
排水	1.5" M-NPT

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